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Air shower風淋室操作規范

一 目的

確保air shower風淋室正常工作，保證FAB清潔和安全衛生

二 適用范圍

A6-1  MEMS 廠務系統所有Air shower 風淋室

三 裝置說明

NA

1. 系統操作說明及注意事項

注意事項：

1. 緊急情況按停止開關，互鎖立即解除，兩門可以同時打開。
2. 風淋室通電后，只能開啟一側的門，嚴禁在通電的情況下同時打開兩門。
3. 當風淋室內側的時間顯示為0或不在顯示狀態時，按急停按鈕，否則將造成電路損壞。
4. 任何違反以上的操作將會造成事故的發生，甚至損壞控制系統。
5. 使用急停按鈕斷電，重新啟動控制電路（瞬間兩門同時打開屬于正常）。

四 異常處理事項

風淋室出現異常，請按下表經行自檢，若不能排除故障，請及時與該公司售后服務部聯系。

五 相關設備規格

六 系統維修, 保養校正周期及允收標準.

A：風淋室工作參數說明

參數設定需持續按下急停按鈕3秒進入設定狀態。此時風淋倒計時數字顯示HE，急停鍵作為設定鍵，風淋鍵作為翻頁使用。按風淋鍵會依次顯示

TI（門外鎖設定時間）

TO(內門解鎖延時設定)

TC(風淋延時時間設定)

TL(照明延時時間設定)

TD(功能設定)

TN(門互鎖設定)

B：風淋室工作參數設定

1、 風淋時間設定：在風淋開始或結束前，直接通過上下鍵調節時間（0~99S）,調節結束后5秒鐘進入設定保存狀態。

2、 門外解鎖延時設定：連續按下急停鍵3秒，數字顯示HE，按風淋鍵數碼管顯示：TI，按上下鍵設定0-99秒經行調節，按風淋鍵確定，5秒進入設定參數保存。

3、 門內鎖延時設定：完成外門設定后，在五秒內再次按風淋鍵，按上下鍵設定0-99秒經行調節，按風淋鍵確定，5秒進入設定參數保存。

4、 電鎖延時設定：完成內門設定后，在五秒內再次按風淋鍵，按上下鍵設定0-99秒經行調節，按風淋鍵確定，5秒進入設定參數保存。

5、 照明延時設定：完成內門設定后，在五秒內再次按風淋鍵，按上下鍵設定0-99秒經行調節，按風淋鍵確定，5秒進入設定參數保存。

6、 功能設置設定：設為“0”為普通型，即“進門---感應---吹淋---出門”；設為“1”為無感應型，即“進---吹淋---出門” ；設為“2”為無門型，即“感應---吹淋”過程控制。

7、 門互鎖功能設定：門互鎖有“0”和“1”兩個狀態，設置“0”時為正常狀態，設置“1”時為互鎖狀態。

七 安全作業標準

a)   啟動風淋門相應的設備應為專職人員經行操作。

b)      打開風淋控制柜及電箱必須具備相應安全保障措施才能經行操作。

c)      維修人員需要具備相應的操作資格，涉及電操作應兩人以上人員操作。

d)      維修人員需穿上必備的勞保用品，潔凈區操作按照FAB管理要求經行。

e)      及時準確記錄操作的相關內容。

八 附件

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